TurboQ S

Métalliseur automatique sous vide secondaire

Quorum a introduit, en février 2025, une toute nouvelle gamme de métalliseurs, intégrant des fonctionnalités avancées pour répondre aux besoins des utilisateurs.

Le TurboQ S est un système de métallisation sous vide secondaire, utilisé principalement pour la préparation d’échantillons destinés à une observation au microscope électronique à balayage (MEB). Grâce à une refonte de son système de vide, il répond parfaitement aux applications nécessitant un vide poussé et une grande finesse de grain, en particulier pour des besoins de très haute résolution. Le TurboQ S atteint une consigne de vide de 1×10^-6 mbar, mesurée avec une jauge hybride combinant les technologies Pirani et Penning.

Le TurboQ S permet de réaliser la métallisation de métaux nobles ou oxydants de manière simple et efficace. Accessible aux débutants comme aux utilisateurs expérimentés, il propose des protocoles pré-enregistrés et un écran de contrôle intuitif pour faciliter sa prise en main.

Son support d’échantillon est réglable en hauteur et inclinable pour garantir un dépôt uniforme, même pour les structures 3D complexes.

Grâce à sa tête Magnétron, l’échauffement de l’échantillon est réduit, ce qui permet de traiter les échantillons sensibles à la chaleur.

Un dispositif spécifique de contrôle de l’épaisseur permet au système d’arrêter le dépôt dès que l’épaisseur souhaitée est atteinte.

Equipé d’une pompe turbomoléculaire dans le châssis, le TurboQ S peut atteindre un vide optimal de fonctionnement de 10^-6 mbar, ce qui permet entre autres, la pulvérisation cathodique très fine de métaux oxydants (Cu, Cr, W, Al…) adaptée pour l’imagerie à ultra haute résolution, avec un courant ajustable de 1 à 150mA.

Les séquences de vide sont automatiques et démarrent dès la mise en route du système, sans intervention de l’opérateur, ce qui aide à préserver les vannes et prolonger la durée de vie de l’équipement.