SU8700
MEB à effet de champ à cathode chaude ultra haute résolution
Ce produit est disponible auprès de Milexia France
Le MEB FEG HR à cathode chaude Hitachi SU8700 est modulable pour s’adapter aux besoins variés des laboratoires. Le courant de sonde maximum peut être supérieur à 200nA, il se règle en continu dans toute la gamme disponible.
La chambre est judicieusement conçue pour recevoir simultanément un grand nombre de dispositifs additionnels (sas, EDS, WDS, EBSD, Platine Cryo, µXRF, etc…).
Le MEB FEG HR à cathode chaude Hitachi SU8700 peut être configuré avec ou sans le mode “pression variable”. La colonne électronique est équipée d’un booster et de plusieurs détecteurs d’électrons complémentaires. La résolution garantie est subnanométrique de 1kV à 30kV.
Features and variations
- Résolution garantie sur site : 0,8nm à 15kV ; 0,9nm à 1kV
- Emission à cathode chaude (type Schottky)
- Tension d’accélération : 0,1kV à 30kV
- Booster applicable sur toute la gamme de tension
- Courant de sonde réglable en continu jusqu’à plus de 200nA (modes vide poussé et pression variable)
- Pression contrôlée : 5Pa à 300Pa
- Chamber pressure range: 5Pa to 300Pa
- Echantillons jusqu’à 200mm de diamètre
- Caméra de navigation intégrée