RotaQ ES

Métalliseur et évaporateur automatique sous vide primaire

Quorum a introduit, en février 2025, une toute nouvelle gamme de métalliseurs et évaporateurs, intégrant des fonctionnalités avancées pour répondre aux besoins des utilisateurs.

Le RotaQ ES est un système sous vide primaire conçu pour la préparation d’échantillons destinés à une observation au microscope électronique à balayage (MEB). Il permet à la fois la métallisation de métaux nobles (non oxydants) et l’évaporation de carbone, grâce à deux têtes de dépôt interchangeables en moins de dix secondes.

Accessible aux débutants comme aux utilisateurs expérimentés, il propose des protocoles pré-enregistrés et un écran de contrôle intuitif pour faciliter sa prise en main. Le système détecte automatiquement la tête de dépôt installée et ajuste les paramètres et protocoles en conséquence.

Son support d’échantillon est réglable en hauteur et inclinable pour garantir un dépôt uniforme, même pour les structures 3D complexes.

Un dispositif spécifique de contrôle de l’épaisseur permet au système d’arrêter le dépôt dès que l’épaisseur souhaitée est atteinte.

Grâce à sa tête Magnétron et ses modes de dépôts, l’échauffement de l’échantillon est réduit, ce qui permet de traiter les échantillons sensibles à la chaleur.

Le RotaQ ES peut atteindre un vide de 1×10^-4 mbar, avec un courant ajustable jusqu’à 150mA pour la métallisation et jusqu’à 75A pour l’évaporation de carbone.

Les séquences de vide sont automatiques et démarrent dès la mise en route du système, sans intervention de l’opérateur, ce qui aide à préserver les vannes et prolonger la durée de vie de l’équipement.

Le RotaQ ES existe aussi en version métalliseur seul (RotaQ S) ou bien en version évaporateur de carbone seul (RotaQ E).