TurboQ ES

Métalliseur et évaporateur automatique sous vide secondaire

Quorum a introduit, en février 2025, une toute nouvelle gamme de métalliseurs et évaporateurs, intégrant des fonctionnalités avancées pour répondre aux besoins des utilisateurs.

Le TurboQ ES est un système sous vide secondaire conçu pour la préparation d’échantillons destinés à une observation au microscope électronique à balayage (MEB) et à transmission (MET). Grâce à une refonte de son système de vide, il répond parfaitement aux applications nécessitant un vide poussé et une grande finesse de grain, en particulier pour des besoins de très haute résolution. Le TurboQ ES atteint une consigne de vide de 1×10^-6 mbar, mesurée avec une jauge hybride combinant les technologies Pirani et Penning.

Ce système polyvalent permet à la fois la métallisation de métaux nobles ou oxydants et l’évaporation de carbone, grâce à deux têtes de dépôt interchangeables en moins de dix secondes. Il est conçu pour être accessible à la fois aux débutants et aux utilisateurs expérimentés, grâce à des protocoles pré-enregistrés et un écran de contrôle intuitif. Le TurboQ ES détecte automatiquement la tête de dépôt installée et ajuste les paramètres et protocoles en fonction de la configuration choisie, simplifiant ainsi son utilisation.

Son support d’échantillon est réglable en hauteur et inclinable pour garantir un dépôt uniforme, même pour les structures 3D complexes.

Un dispositif spécifique de contrôle de l’épaisseur permet au système d’arrêter le dépôt dès que l’épaisseur souhaitée est atteinte.

Grâce à sa tête Magnétron et ses modes de dépôts, l’échauffement de l’échantillon est réduit, ce qui permet de traiter les échantillons sensibles à la chaleur.

Equipé d’une pompe turbomoléculaire dans le châssis, le TurboQ ES peut atteindre un vide optimal de fonctionnement de 10^-6 mbar, ce qui permet entre autres, la pulvérisation cathodique très fine de métaux oxydants (Cu, Cr, W, Al…) adaptée pour l’imagerie à ultra haute résolution, avec un courant ajustable de 1 à 150mA et jusqu’à 75A pour l’évaporation de carbone.

Les séquences de vide sont automatiques et démarrent dès la mise en route du système, sans intervention de l’opérateur, ce qui aide à préserver les vannes et prolonger la durée de vie de l’équipement.

Le TurboQ ES existe aussi en version métalliseur seul (TurboQ S) et en version évaporateur de carbone seul (TurboQ E).