Hitachi Power Solution – Wafer Line

WaferLine est un système d’inspection par ultrasons entièrement automatisé spécialement conçu pour les applications de wafer dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs de pointe.

Il couvre l’ensemble du processus d’inspection, du transfert et du positionnement automatisés des plaquettes à l’inspection par ultrasons, la détection des défauts et le jugement final, garantissant des résultats d’inspection cohérents et reproductibles.

Conçu pour offrir à la fois une haute précision et un débit élevé, WaferLine offre des performances d’imagerie exceptionnelles tout en conservant une compatibilité stricte avec les salles blanches.

Son architecture modulaire permet aux utilisateurs de sélectionner la configuration de transducteur la plus adaptée à leurs besoins, que la priorité soit une résolution maximale, une vitesse d’inspection rapide ou une approche hybride combinant les deux. Cette flexibilité fait de WaferLine une solution idéale pour la R&D et les lignes de production à haut volume.

Grâce à la détection automatisée des défauts et à la possibilité d’intégration via la communication hôte, il soutient les stratégies de fabrication intelligente et contribue à améliorer l’efficacité des processus, le contrôle du rendement et la qualité globale des produits.

Destiné à fonctionner dans des environnements de classe ISO 3, il répond aux exigences strictes de propreté des installations modernes de fabrication de semi-conducteurs, tout en offrant une inspection ultrasonique fiable et précise.

Applications

• Inspection des wafers semi-conducteurs
• Détection des défauts internes dans les wafers
• Contrôle qualité et surveillance des processus dans les lignes de production avancées