SU9000 II
MEB à effet de champ “in-lens” à cathode froide
La technologie de la cathode froide utilisée dans le SU9000 II permet d’atteindre la plus haute résolution SEM au monde. (0,4nm à 30kV).
Le SU9000 II est le nouveau MEB haut de gamme d’HITACHI. Il est idéal pour l’imagerie à haute résolution avec une source de très fine et de faible énergie. Il est doté d’une optique électronique unique, avec l’échantillon positionné dans un espace entre les parties supérieure et inférieure de la pièce polaire de la lentille objectif. Ce concept appelé « True in-lens » -combiné à la nouvelle génération de canon FEG à cathode froide d’HITACHI – garantit la meilleure résolution ultime pour un MEB, notamment à haute tension (résolution SE 0,4nm à 30kV et 0,7nm à 1kV avec la décélération) et la meilleure isolation aux perturbations extérieures (champs, vibrations, contamination).
Le SU9000II utilise une platine à entrée latérale ultra-stable similaire aux systèmes MET haut de gamme et intègre un dispositif d’amortissement des vibrations optimisé et une enceinte de protection de l’optique électronique contre des bruits ambiants.
Par ailleurs, le concept de vide propre du SU9000II offre un niveau de vide dans le canon et la chambre à échantillon d’un ordre de grandeur supérieur à la génération précédente, ce qui minimise les artefacts liés à la contamination de l’échantillon.
De nouvelles fonctionnalités ont été ajoutées, comme le réglage automatique du système optique et le logiciel EM Flow Creator, en option, pour l’acquisition automatisée de données, en particulier la collecte de données séquentielles.
Application
Features and variations
- La meilleure résolution SE au monde : 0,4 nm à 30 kV
- Nouveau canon à électrons à émission de champ cathode froide permettant à la fois une grande brillance et un courant d'émission extrêmement stable.
- Performances supérieures à basse énergie pour l'observation de matériaux sensibles au faisceau. Résolution SE : 0,7 nm à une tension d'atterrissage de 1 kV (avec option de décélération)
- Chambre sous ultravide réduisant les artefacts liés à la contamination de l'échantillon.
- Châssis à haute rigidité et enceinte acoustique garantissant un fonctionnement performant dans une grande variété d'environnements.
- Nouvelles capacités STEM LV : la position du STEM BF/DF Duo peut être réglée pour contrôler la détection du signal de diffusion d'un angle faible à un angle élevé en mode champ sombre. Objectif à faible aberration et système optique optimisé pour les observations STEM. Les images de réseau peuvent être observées en SEM/STEM
Características y Variaciones
- La resolución SE más alta del mundo: 0.4 nm a 30 kV.
- Nueva cañón de electrones de emisión de campo frío rediseñado que permite tanto alta brillantez como una corriente de emisión extremadamente estable.
- Rendimiento superior a bajo kV para observar materiales sensibles al haz. Resolución SE: 0.7 nm a 1 kV de voltaje de aterrizaje (con opción de desaceleración).
- Cámara de muestra de ultravacío que reduce los artefactos de contaminación de la muestra.
- Estructura de alta rigidez y recinto acústico que aseguran un funcionamiento de alto rendimiento en una amplia variedad de entornos.
- Nuevas capacidades LV STEM: la posición del Duo STEM BF/DF puede regularse para controlar la detección de señales de dispersión desde ángulos bajos hasta altos en modo de campo oscuro. Lente objetivo in-lens de baja aberración y sistema óptico optimizado para observaciones STEM. Las imágenes de red se pueden observar en SEM/STEM.