SU8600
Hitachi Ultrahigh-resolution Field-emission Scanning electron microscope
The SU8600 brings in a new era of Ultrahigh-resolution cold-field emission scanning electron microscopes to the long-standing Hitachi EM line-up.
This revolutionary CFE-SEM platform incorporates multifaceted imaging, automation, increased system stability, efficient workflows for users of all experience levels.
The Hitachi SU8600 FEG UHR cold cathode SEM delivers sub-1 nm resolution across the entire range of available accelerating voltages.
New detectors and an upgraded software interface make it easy to image a variety of your samples, up to the highest magnifications.
The Hitachi SU8600 FEG SEM covers a wide range of applications (nano-materials, semiconductors, polymers, biology) requiring the ultimate resolutions.
The Upper, Top, IMD in-lens detectors ensure a very precise adjustment of secondary and back-scattered electrons according to their energy and direction. The finest surface details are thus revealed without the need to metalise the samples.
Features and variations
- Résolution garantie sur site : 0,6nm à 15kV ; 0,7nm à 1kV
- Emission froide de nouvelle génération avec régulation automatique du courant
- Tension d’accélération : 0,5kV à 30kV
- Système de décélération paramétrable (énergie d'atterrissage à partir de 10eV)
- Echantillons jusqu'à 200mm de diamètre
- Sas d'introduction des échantillons
- Caméra de Navigation intégrée
- Détecteurs SE, BSE, dans la chambre, SE et BSE In-Lens, Cathodo
- Détecteur STEM (Bright Field, Dark Field)
- Plusieurs ports disponibles pour EDS, EBSD, Platine cryogénique, etc..