Rigaku XTRAIA XD-3300
Système de détection automatique de composition et de cristallinité de couches minces
Ce produit est disponible auprès de Milexia France
L’XTRAIA XD-3300 Le XTRAIA XD-3300 est un outil de métrologie à rayons X polyvalent qui permet l’analyse non destructive de films monocouches et multicouches sur des plaquettes de 300 mm et 200 mm, lisses ou structurées, avec un débit élevé dans le cadre d’une production à grand volume.
Les résultats des mesures comprennent l’épaisseur, la densité et la rugosité du film (par réflectométrie aux rayons X, XRR) ainsi que l’épaisseur, la composition, la contrainte, la relaxation du réseau et la qualité de la structure cristalline du film épitaxial (par diffraction des rayons X à haute résolution, HRXRD).
Caractéristiques clés
- Faisceau incident de rayons X à haute intensité, avec une taille de faisceau jusqu’à 40µm
- Compatibilité Wafers 8 pouces et 12 pouces
- Détecteur 2D pour la l’acquisition très précise de données