FineSAT 7

Le FineSAT 7 est la dernière génération de microscope acoustique à balayage d’Hitachi Power Solutions. Il offre une qualité d’image inégalable et permet d’inspecter de grands échantillons jusqu’à 300mm de diamètre.

• Amélioration de la précision avec une meilleure qualité d’image
• Réservoir d’eau plus grand : possibilité d’inspecter en une seule fois des échantillons jusqu’à 300mm
• Meilleure performance et productivité
• Vitesse jusqu’à 1200mm/s
• Respect des normes de sécurité de la Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Hitachi Power Solutions (2966 employés) est le leader mondial sur le marché de la microscopie acoustique avec plus de 2600 équipements installés dans le monde.

Présent depuis 1983, et principalement présent en Asie jusqu’ici, Hitachi Power Solutions introduit un le modèle « FineSAT 7 » pour répondre aux besoins des marchés européen et américain.

Le FineSAT 7 est un microscope acoustique à balayage (SAM), appelé aussi tomographie acoustique à balayage (SAT). Il permet de détecter et représenter les structures et les défauts minuscules tels que les délaminations et les vides à l’intérieur des semiconducteurs et des composants électroniques de manière non-destructive en utilisant les propriétés de réflexion et de transmission des ondes ultrasoniques.

Le FineSAT 7 offre une meilleure qualité d’image et une plus grande précision pour la détection des défauts internes améliorant ainsi son efficacité et sa productivité. Il est équipé d’une carte A/N nouvellement développée en interne avec un FPGA intégré permettant d’obtenir une meilleure résolution de 16 fois* et un temps de mesure deux fois plus court*. Les signaux de haute fréquence sont plus facilement détectables.

De par son réservoir d’eau agrandi, il est possible dorénavant d’y insérer des échantillons jusqu’à 300mm de diamètre. La plage de déplacement et de mesure a été élargie. La sonde qui transmet et reçoit les ondes ultrasoniques a également été améliorée. Les bulles provoquant la réflexion des ondes ultrasoniques peuvent s’éliminer facilement.

La méthode par « through transmission » utilisée pour les formes complexes telles que les dispositifs multicouches contribue à l’amélioration de son efficacité.

Un large choix de sondes (jusqu’à 400MHz) développées et produites par Hitachi Power Solutions permet de parfaitement adapter les possibilités de la technique aux différents matériaux et aux dimensions recherchées.

Grâce à ces performances et ces fonctions le FineSAT7 contribue à améliorer la précision et la productivité des inspections dans les domaines de la recherche, du développement et de la fabrication.

*par rapport au modèle conventionnel FineSAT III