SU8700
Microscopio electrónico de barrido por emisión de campo de ultra alta resolución
El SU8700 marca una nueva era en la línea de microscopios electrónicos de barrido por emisión de campo Schottky de ultra alta resolución de Hitachi.
El SU8700, equipado con cátodo caliente FEG y alta resolución (HR SEM), puede configurarse con o sin modo de presión variable.
La columna electrónica incorpora un booster y varios detectores electrónicos complementarios. La resolución garantizada es subnanométrica desde 1 kV hasta 30 kV.
El SU8700 FEG HR SEM de cátodo caliente es escalable para adaptarse a diversas necesidades de laboratorio. La corriente máxima de sonda puede superar los 200 nA y es infinitamente variable en todo el rango disponible. La cámara está diseñada para alojar simultáneamente numerosos dispositivos adicionales, incluidos airlock, EDS, WDS, EBSD y etapa criogénica.
Features and variations
- Resolución garantizada in situ: 0,8 nm a 15 kV; 0,9 nm a 1 kV
- Emisión caliente (tipo Schottky)
- Voltaje de aceleración: de 0,5 kV a 30 kV
- Booster aplicable en todo el rango de voltajes de aceleración
- Energía de aterrizaje desde 10 eV
- Corriente de sonda ajustable de forma continua hasta más de 200 nA (en modos de alto vacío y presión variable)
- Rango de presión en cámara: de 5 Pa a 300 Pa
- Muestras de hasta 200 mm de diámetro
- Airlock para introducción de muestras (opcional)
- Cámara de navegación integrada