SU3800
Microscope Electronique à Balayage à Pression Variable
Le MEB Hitachi SU3800 est un MEB à filament tungstène haute résolution polyvalent. Il offre de très hautes performances en imagerie – en particulier à basses tensions d’accélération, d’excellentes capacités analytiques ainsi qu’une multitude d’évolutions possible.
Le MEB Hitachi SU3800 intègre une nouvelle technologie appelée « IFT » (Intelligent Filament Technology) qui permet à l’utilisateur de travailler avec un courant d’émission constant et extrêmement stable pour l’ensemble des tensions d’accélération. De plus, le logiciel informe en temps réel de la durée de vie restante du filament. La durée de vie est typiquement augmentée d’un facteur x3.
L’ergonomie très soignée, assure une grande facilité d’accès aux fonctions du microscope, via le pupitre de commande ou via le logiciel. De nombreux automatismes, très rapides, maximisent la productivité.
Les électroniques de contrôle du détecteurs BSE très haute sensibilité à cinq secteurs et du détecteur optionnel UVD II pour le mode pression variable, ont été optimisées pour permettre une visualisation de l’échantillon à vitesse rapide en temps réel, comme c’est déjà le cas avec le détecteur d’électrons secondaires SE de type Everhart-Thornley.
La chambre dispose de très nombreux ports d’accès pour des équipements additionnels (EDS, WDS, EBSD, Cryo, détecteur STEM, etc…), la platine motorisée sur 5 axes en continu est compucentrique en inclinaison et en rotation.
Enfin une caméra optique intégrée dans la chambre permet d’obtenir une image de l’échantillon pendant le pompage de la chambre, de se déplacer en temps réel pour choisir la région d’intérêt et de superposer les images optiques et électroniques avec un facteur de transparence ajustable par l’utilisateur.
Features and variations
- Résolution garantie à 30kV : 3nm – Résolution garantie à 1kV : 15nm (SE)
- Résolution garantie à 30kV en mode pression contrôlée : 4nm (BSE)
- Tension d’accélération : de 0,3kV à 30kV
- Grandissements : x5 to x800,000
- Gamme de pressions (en mode low vacuum) : 6Pa à 650Pa
- Taille d’échantillon maximale : 200mm de diamètre et 80mm de hauteur à distance analytique
- Déplacement sur 5 axes motorisés eucentrique (Inclinaison de -20° à 90°, diamètre observable de 127mm)
- Distance analytique : 10mm, angle d’émergence : 35°
- Détecteurs SE, BSE et en option UVD 2.0
- Système de pompage sèche (pompe turbomoléculaire à paliers magnétiques), Pas d’alimentation en eau requise