FlexSEM1000 II
Microscope Electronique à Balayage compact
Le MEB compact HITACHI de troisième génération, modèle FlexSEM1000 II, succède aux modèles SU1510 et FlexSEM1000.
Toujours plus polyvalent, ce microscope électronique à balayage peut être utilisé comme MEB de table (Tabletop SEM, MEB de paillasse) ou comme MEB conventionnel. Le nouveau détecteur UVD-II, spécifique au mode « pression variable » ou « low vacuum » a un rapport signal sur bruit amélioré de 50% et produit des images topographiques très fines. En mode vide poussé, le détecteur UVD-II peut être utilisé comme un détecteur de cathodoluminescence. Il complète les détecteurs standards d’électrons secondaires Everhart-Thornley (SE) et d’électrons rétrodiffusés haute sensibilité à 5 segments (BSE).
Un système de prise de vue optique de l’échantillon, en couleur, permet un repérage facile et précis des zones à observer ensuite sous le faisceau d’électrons. Un logiciel très performant de reconstruction d’images 3D, développé en collaboration avec la société Digital Surf, renseigne quantitativement sur la rugosité de l’échantillon et ses caractéristiques de surface.
Features and variations
- Performant et simple d’utilisation
- Résolution garantie à 20kV : 4nm - Résolution garantie à 1kV : 15nm
- Grandissements : x6 à x300.000 en continu
- Tension d’accélération : de 0,3kV à 20kV
- Gamme de pressions (en mode low vacuum) : 6Pa à 100Pa
- Taille d’échantillon maximale : 80mm de diamètre et 50mm de hauteur
- Déplacement sur 5 axes dont 3 motorisés (X, Y, R)
- Distance analytique : 10mm, Angle d’émergence : 30°
- Détecteurs SE, BSE et UVD 2.0 (option)