SU3900

Le MEB Hitachi SU3900 est un MEB très grande chambre à filament tungstène haute résolution polyvalent. Il offre de très hautes performances en imagerie – en particulier à basses tensions d’accélération, d’excellentes capacités analytiques ainsi qu’une multitude d’évolutions possible.

Le MEB Hitachi SU3900 intègre une nouvelle technologie appelée « IFT » (Intelligent Filament Technology) qui permet à l’utilisateur de travailler avec un courant d’émission constant et extrêmement stable pour l’ensemble des tensions d’accélération. De plus, le logiciel informe en temps réel de la durée de vie restante du filament. La durée de vie est typiquement augmentée d’un facteur x3 par rapport aux précédentes générations.

L’ergonomie très soignée, assure une grande facilité d’accès aux fonctions du microscope, via le pupitre de commande ou via le logiciel. De nombreux automatismes, très rapides, permettent de maximiser la productivité.

Les électroniques de contrôle du détecteurs BSE très haute sensibilité à cinq secteurs et du détecteur optionnel UVD II pour le mode pression variable, ont été optimisées pour permettre une visualisation de l’échantillon à vitesse rapide en temps réel, comme c’est déjà le cas avec le détecteur d’électrons secondaires SE de type Everhart-Thornley.

La chambre dispose de très nombreux ports d’accès pour des équipements additionnels (EDS, WDS à faisceau collimaté, EBSD, Cryo, détecteur STEM, etc…), la platine motorisée sur 5 axes en continu est compucentrique en inclinaison et en rotation.

Enfin une caméra optique intégrée dans la chambre permet d’obtenir une image de l’échantillon pendant le pompage de la chambre, de se déplacer en temps réel pour choisir la région d’intérêt et de superposer les images optiques et électroniques avec un facteur de transparence ajustable par l’utilisateur.