Hitachi High-Tech présente le SU9600 : la nouvelle génération de MEB STEM ultra haute résolution

Le SU9600 représente la nouvelle génération de microscopes électroniques à balayage développés par Hitachi High-Tech.

Conçu pour offrir une imagerie STEM d’une précision sub-nanométrique, il répond aux besoins croissants des secteurs des semi-conducteurs, des matériaux avancés et de la recherche de pointe, où la miniaturisation et la fiabilité des analyses sont essentielles. 

Grâce à sa combinaison unique de technologies exclusives, d’automatisation avancée et de haut débit d’acquisition, le SU9600 permet une observation plus rapide, plus stable et plus performante, tout en garantissant une qualité d’image exceptionnelle. 

Précision extrême grâce au canon d’électron à cathode froide 

Le SU9600 est équipé du canon CFE exclusif de Hitachi, garantissant : 

• Un faisceau électronique ultra stable et lumineux, assurant une résolution sub-nanométrique :  
• 0,4 nm en électrons secondaires (30 kV) 
• 1,0 nm en électrons secondaires (1 kV) 
• 0,34 nm en mode STEM (30 kV) 
• Une utilisation immédiate dès la mise en route 
• Des images nettes, contrastées avec un excellent rapport signal/bruit (S/N) 
• Une capacité d’acquisition longue et continue, indispensable pour les analyses haute résolution 

Grâce à son architecture optimisée, le SU9600 atteint une performance d’imagerie de classe mondiale. 

Automatisation avancée pour un haut débit d’analyse 

Le SU9600 intègre des fonctions d’automatisation qui permettent de : 

• Standardiser et simplifier les workflows opérateurs 
• Accélérer la collecte de données à grande échelle 
• Réduire les besoins d’ajustements manuels 
• Améliorer la reproductibilité et la qualité des résultat 

Il devient ainsi un outil essentiel pour les environnements exigeants en cadence, notamment en R&D et en contrôle de process. 

Options et technologies avancées 

Pour répondre aux applications les plus complexes, le SU9600 peut être équipé de modules de pointe : 

• 4D STEM : acquisition multidimensionnelle pour l’analyse structurelle détaillée 
• EELS (Electron Energy Loss Spectroscopy) : analyse chimique et électronique de haute précision Porte-objet double tilt : idéal pour l’examen d’échantillons complexes ou orientés 

Ces options étendent considérablement les capacités du SU9600 et en font un instrument polyvalent pour les laboratoires les plus exigeants. 

 Intégration complète dans l’écosystème digital Lumada 3.0 

Le SU9600 s’inscrit pleinement dans la vision digitale de Hitachi High-Tech.
Grâce à son intégration dans Lumada 3.0 via le service numérique HMAX for Industry, il devient un véritable actif digital, capable de : 

• Générer et transmettre des données fiables à grande échelle 
• Combiner mesures, expertise métier et IA 
• Optimiser les processus d’analyse 
• Accélérer les cycles de développement 
• Renforcer l’innovation scientifique et industrielle 

Cette intégration permet aux chercheurs et industriels de maximiser la valeur de leurs données et d’accélérer leurs innovations. 

Les bénéfices du SU9600 en un coup d’œil 

• Résolution sub-nanométrique pour les applications les plus avancées 
• Imagerie stable, lumineuse et haut contraste 
• Automatisation avancée pour un débit d’analyse supérieur 
• Options technologiques puissantes : 4D STEM, EELS… 
• Intégration digitale pour la gestion et la valorisation des données 
• Performances idéales pour le semi-conducteur, les matériaux avancés et la recherche académique