FlexSEM1000 II
Microscopio electrónico de barrido compacto
La tercera generación de SEM compacto de HITACHI, modelo FlexSEM1000 II, es el sucesor de los modelos SU1510 y FlexSEM1000.
El FlexSEM1000 II es un microscopio electrónico de barrido versátil que puede utilizarse tanto como SEM de sobremesa como en configuración convencional.
El nuevo detector UVD 2.0, específico para el modo de “presión variable” o “bajo vacío”, mejora en un 50% la relación señal/ruido y produce imágenes topográficas de gran detalle.
En modo alto vacío, el detector UVD 2.0 puede emplearse como detector de catodoluminiscencia. Complementa a los detectores estándar de electrones secundarios Everhart-Thornley (SE) y de electrones retrodispersados de alta sensibilidad de cinco segmentos (BSE).
Un software avanzado de reconstrucción de imagen 3D, desarrollado en colaboración con la empresa Digital Surf, proporciona información cuantitativa sobre la rugosidad y las características superficiales de la muestra.
Un sistema óptico de imagen en color de la muestra permite identificar de forma sencilla y precisa las áreas a observar bajo el haz de electrones.
Features and variations
- Resolución garantizada a 20 kV: 4 nm, resolución garantizada a 1 kV: 15 nm
- Ampliaciones: de x6 a x300.000 de forma continua
- Voltaje de aceleración: de 0,3 kV a 20 kV
- Rango de presión (en modo low vacuum): de 6 Pa a 100 Pa
- Diámetro máximo de la muestra: 80 mm – Altura máxima de la muestra: 50 mm
- Distancia analítica: 10 mm, ángulo de emergencia: 30
- Detectores SE, BSE y UVD 2.0 (opcional)
- Sistema de navegación óptica (opcional)
- Sistema operativo: Windows 10